PSG500, PSG500-S, PSG502-S
Pirani 標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)
INFICON的 Pirani 標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì) PSG500 和 PSG502-S代表封裝在堅(jiān)固耐用小型管殼內(nèi)的**先進(jìn)的Pirani技術(shù).溫度補(bǔ)償提供快速與**穩(wěn)定的真空測(cè)量并消除了對(duì)大氣壓強(qiáng)反應(yīng)慢的問(wèn)題. 堅(jiān)固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導(dǎo)體系統(tǒng), 以及常規(guī)用途如前級(jí)真空管道中.
特點(diǎn)
占空間小 任何方位安裝
不銹鋼測(cè)量單元的金屬密封饋入件 **化的溫度補(bǔ)償 易于集成的對(duì)數(shù)訊號(hào)輸出 至10巴**壓力的高過(guò)壓能力，用螺紋連接件 烘烤型在法蘭處可達(dá)到250 °C 易于更換的傳感單元
應(yīng)用
控制高真空電離真空計(jì) 前級(jí)真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè) 真空系統(tǒng)中的安全電路 在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量與控制